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竹内みれい什么是蚀刻减薄前处理,以及其作用分析-薄化产业研究

作者: admin  发布: 2018-11-28 分类:全部文章 阅读: 105次

什么是蚀刻减薄前处理,以及其作用分析-薄化产业研究


什么是蚀刻减薄前处理,以及其作用分析
关于“蚀刻减薄前处理”的概念,其实在薄化行业已经不是什么秘密了,而且很多减薄厂都有自己的独门秘诀或配方。另外,其字面意思也很好理解,就是对蚀刻减薄产品在蚀刻减薄之前采用一定方式的加工处理。
然而怎么样才能真正做好蚀刻减薄前的前处理,恐怕大家都有着不同的说法。但一般会提到两种情况,一种是蚀刻减薄前对减薄产品进行物理抛光;另一种是蚀刻减薄前通过化学药剂对减薄产品进行一定的化学处理。对于这两种情况,哪种更好呢?个人认为,这要根据实际减薄加工需要来定,也就是说在实际蚀刻减薄前,不管是物理抛光还是化学处理,只要能满足生产加工的最终需要,就都可以称为“前处理”。因此不用去说哪种更好,因为在实际生产应用中两者混合使用,也是常有的事情。
薄化行业的前处理主要是指用化学方法处理
我们通过和业界相关专家、技术人员沟通学习,以及查阅资料,了解到目前在我们薄化行业所说的前处理,通常是指采用特殊配比的前处理液对液晶面板或玻璃基板先进行一定方法化学蚀刻处理后再进行下一步的蚀刻减薄。
蚀刻减薄前处理的好处和目的
在进行液晶面板和玻璃基板蚀刻减薄过程中,我们通常会发现这些产品在减薄后还有很多蚀刻不良的问题,例如:划伤、凹凸点等。这些问题随着现在液晶面板和玻璃基板对减薄要求的不断提高,不仅影响我们减薄厂的生产效率和产品良率(例如:需对液晶面板和玻璃基板再次进行大量的研磨抛光作业),严重的甚至导致减薄后的产品报废迪妮莎。经过薄化行业相关人员的研究发现,这些问题除了设备或人为操作等因素外农安教育网,还有些是来料产品本身划伤或杂质等固有缺陷导致,在减薄过程中将缺陷问题的放大。因此通过减薄前对来料产品先做一些前处理就成了减少不良、提高生产效率的一种有效手段。


(产品异常图片)
对于蚀刻减薄前处理的目的,简单的讲追你到天边,就是采用特殊配比的前处理液先行填补减薄前产品表面固有缺陷货源归边,然后再进行减薄,以减少HF(氢氟酸)过程中放大效应的影响,弥补减薄技术无法减小或修复减薄前玻璃表面不良的缺点。
蚀刻减薄生产中前处理流程
根据化学方法前处理的要求,在减薄厂通常在进行液晶面板和玻璃基板减薄前庄雯如 ,增加一个浸泡式的前处理蚀刻单元(包括:前清洗、前处理浸泡蚀刻、后清洗),详细流程图如下:

(前处理流程示意图)
通过某减薄厂前处理实例了解到,其前后清洗采用的清洗剂相同,都为一定比例的碱性溶剂和阴离子表面活性剂构成的水溶液(其中水使用高纯水)真情部落格。前处理液是由氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性剂和水组成的混合酸液。其中,活性剂可以采用十二醇聚氧乙烯醚硫酸钠(简称AES)或者十二烷基硫酸钠(C12H25NaO4SNa)。
蚀刻减薄前处理液的配制步骤:
将氢氟酸、盐酸、硝酸无序混合;
待混合液产生鼓泡并逐渐变大后,缓慢加入硫酸;
加入活性剂和水;
产生鼓泡关闭后再次加入活性剂;
蚀刻减薄前处理的作用分析
前后清洗的作用
在预处理的前清洗是为了消除基板表面污迹,以便后续处理的正常进行。而后清洗主要是为了去除玻璃表面预处理后残留的酸液。前后清洗碱液成分和含量一致艾乐替尼,PH范围为:9.5~12。
前处理液中各成分的作用
液晶面板和玻璃基板蚀刻减薄,我们所知主要是由于氢氟酸会腐蚀玻璃基板,因此若在减薄前,基板表面存有划伤或凹点等缺陷,根据氢氟酸与二氧化硅化学反应基本原理侍道4攻略,在一定时间作用下,会导致划伤或凹陷部分进一步被HF腐蚀而扩大,且时间越长腐蚀越深。(表面缺陷扩大示意图如下:)


通过相关资料了解,在前处理过程中,所用的前处理液由于是多种溶剂组成的混酸,利用其中不同成分的配比溶液的特性对玻璃基板的固有缺陷进行一定量的去除和修补,从而改善玻璃基板表面质量魔剑独孤求败,使后续蚀刻减薄作业时间缩短,并让减薄中化学反应更加稳定。
本文所提前处理液实例,利用前处理的混酸液中不同成分溶剂特性,在不加深原有表缺陷状况下,对减薄的液晶面板基板玻璃进行了80~120μm的蚀刻减薄,以及一定填补修复的预处理。前处理混酸液组成成分的主要作用如下:
氢氟酸
腐蚀玻璃基板,进行酸刻处理;主要化学反应式如下:
4HF+SiO2→SiF4+2H2O
SiF4+2HF→H2SiF6
盐酸和硫酸
溶解在蚀刻玻璃基板中产生的硅酸盐等不溶性的玻璃粉沉淀或杂质葛倩茹,防止其附着在玻璃基板表面,影响对玻璃基板蚀刻均匀性。

例如爱妻网,其中少量的硫酸将HF与玻璃中的主要成分 SiO、CaO、NaO反应后得到的 SiF、CaF、NaF 蚀刻残积物转化为 CaO、NaO、SiO2 并除去。
(氢氟酸和玻璃中有效成分反应)
SiO2+HF→SiF4↑+H2O
CaO+HF→CaF2↓+H2O
Na2O+HF→NaF↓+H2O
(循环反应)
SiF4+H2SO4→HF+H4SiO4+HSO4-
CaF+H2SO4→HF+NaHSO4+H2O
NaF+H2SO4→HF+NaHSO4
磷酸和活性剂(十二烷基硫酸钠)
清除污迹、改善减薄中凹陷腐蚀问题和避免划伤扩大;其中磷酸能够溶解玻璃基板表面无机盐垢,且产生磷酸盐可形成保护性磷化膜,减少HF对玻璃基板凹陷部分加剧腐蚀。另外,活性剂(十二烷基硫酸钠)易溶于水,对碱和硬水不敏感,具有良好的乳化、发泡、渗透、去污和分散性能。
硝酸
硝酸有提高溶液酸性作用,使单质硅氧化为二氧化硅。通过调整硝酸和氢氟酸的比例,溶液的温度可控制腐蚀速度,使HF腐蚀玻璃基板化学反应更加稳定。
3Si+4HN0→3Si0+2H0+4N0
通过以上实例研究证明,经预处理后的产品因表面凹点及划伤造成的抛光率下降83%,大大降低了抛光产品的数量,使生产成本降低8%左右。
总结:
应具体分析来料材质和表面状况,配比最佳预处理蚀刻液的成分比例和设定对应前后清洗时间。
通过厚度测定计算出需要的预处理量。
前后清洗碱液成分及含量一致,PH值范围为:9.5~12竹内みれい。采用高纯水配制前处理液,有助于提高清洗效果,提升产品质量。
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(责任编辑:Deyan Chiu 薄化产业研究)
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